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佟洪波
  审核人:

  

  

佟洪波

  

  

辽宁省锦州市

出生年月日

19721228

   

中共党员

  

博士

毕业学校

东北大学

所在系室

过程装备与控制工程

    

副教授

现任职务

 

电子邮箱

hongbotong@163.com

联系电话

024-56865042

研究方向

薄膜技术

主要本科生、研究生等课程、教学情况

主要讲授《化工机械基础》、《过程装备制造技术》等课程

个人经历(进修、留学)

1991.9~1995.8 辽宁工业大学 本科

1999.9~2002.4 东北大学  硕士

2004.9~2008.4 东北大学  博士

发表论文、著作时间:

说明:论文包括科研论文、教学论文、主编或者参编的教材等。

中频反应磁控溅射制备AlN薄膜的工艺研究 20077月 真空科学与技术学报

反应溅射AlN的模拟 20079月 真空科学与技术学报

反应磁控溅射制备AlN薄膜的靶电压特性 20086月 东北大学学报         

反应磁控溅射研究进展 20085月真空

薄膜电致发光材料的研究进展 20086月表面技术

反应溅射AlN薄膜的动态特性 20091月  真空科学与技术学报

磁控溅射制备AlN薄膜的蒙特卡罗模拟 20096月表面技术

反应溅射制备AlN薄膜靶中毒机制的研究 201111月 真空科学与技术学报

 

其他方面(如担任班主任工作)

担任装备专业1405班班主任

 

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